SETRA(西特)Model 227超高纯压力传感器

产品概述

Setra 的227 型传感器专用于当今的300mm 工具所要求的高密度、模块式block气体棒和面板。西特227 型1-1/8" 的占地面积优化了有价值的空间，其坚固的设计使其非常适合那些要求长期稳定性、高精度和对恶劣环境格外不敏感的压力测量应用。

与其它具有较大死端空泡体积的设计不同，西特227 型具有一个方便洗涤的小排量传感器舱。所有湿润部件均为优质VAR 316L SS 材料，电解抛光至5 Ra（10max.）的终饰。每一个传感器都经质谱仪进行过高达1 x 10-9 atm.cc/sec 的氦渗漏试验。

可选择5 VDC、10 VDC 或4-20 mA 输出，227 型可提供±0.25% 全量程或±1.0% 的读数精度。227 型配备了一个节省空间的1 1/8" C 型密封件下安装接口底座，并可选择多芯电缆、4 针bayonet 连接器和一个9 针或15 针D 型连接器用于电气终端。加上327 型的1-1/8" 可旋转显示器，该产品包达到了压力测量及显示的极致。该独特设计包括在旋转保护盖下面的侧接近至零点及范围调节，可选择绝对压、表压或复合压。

Setra 获专利的可变电容传感器的特点在于一个316L 不锈钢膜片和一个绝缘电极板。在传感器主体和电极板之间形成一个可变电容器。压力的增加致使膜片略微变圆，从而增加了电容。 通过Setra 独特的定制集成电路检测电容值的变化，并利用获专利的电荷平衡原理将其转换成高度精准的线性DC 电信号。Setra 的整个超高纯系列均基于Setra 的被广泛认可的电容传感技术，高度精准和稳定的电压或电流输出信号基本上可抑制电磁干扰/ 射频干扰（EMI/RFI）。

典型应用

• ●模块式1-1/8" 气体棒和面板
• ●高纯气体传输系统
• ●半导体工艺工具

性能数据

精确RSS*（ 恒定温度下）：读数±1.0% 或±0.25% 全量程

非线性，BFSL ：±0.15% 全量程

滞后：0.20% 全量程

非重复性：0.02% 全量程

热效应**

补偿范围oF（℃）：+15 至+150（-9 到+65）

零点漂移 %FS/100 oF（50℃ ）：2.0（1.8）

范围漂移 %FS/100 oF（50℃ ）：2.0（1.8）

加热漂移：0.1% 全量程

** 在额定70 oF 下校验过的设备。

根据此数据而计算的最大温度误差。

环境数据

温度

工作温度*oF（℃）：-40 至+185（-40 到+85）

储存温度oF（℃）：-40 至+185（-40 到+85）

* 工作温度仅是电子设备的温度极限。

受压媒介的温度可能要高或低很多。

物理描述

外壳：不锈钢

电气连接：182.88cm. 多芯电缆，Bayonet

连接器或D- 型连接器

压力接头：下安装“C”型密封

通风：通过零点和范围接近孔

重量：6.5 oz（184g）

电气数据（电压）

电路：3 根导线（Exc、Out、Com）

激励：10 至 30 VDC（5V FSO）

13 至 30 VDC（10V FSO）

输出* ： 0 至5 VDC 或0.2 至5.2 VDC**

0 至10 VDC 或0.2 至10.2 VDC**

电流消耗：<8 mA

* 校准精度为50K ohm负荷，可操作5000 ohm或更大的负荷。

** 零点输出的出厂设置在± 25 mV 之内（限5 VDC 输出）

或±50mV（限10 VDC 输出）。

** 范围（全量程）输出的出厂设置在± 25 mV 之内

（ 限5 VDC 输出）或±50mV（限10 VDC 输出）。

电气数据（电流）

电路：2 根导线

输出* ：4 至 20 mA**

外部负荷：0 至800 Ohm

最大电源电压（VDC）= 10 + 0.02 x（ 接收器正极导线的电阻）。

最大电源电压（VDC）= 30 + 0.004 x（ 接收器正极导线的电阻）。

* 出厂时以24 VDC 回路电压和一个250 ohm 负荷，进行校准。

** 零点输出的出厂设置在± 0.08 mA 之内。

** 范围（全量程）输出的出厂设置在± 0.08mA 之内。

压力媒介

与316L 不锈钢相兼容的液体或气体。

产品规格如有变更，恕不另行通知。

SETRA是深圳市昊森科技有限公司代理的工业传感器品牌之一，所有SETRA产品均为原装正品，SETRA原厂质量保证。如果您对SETRA(西特)Model 227超高纯压力传感器的价格、厂家、型号、图片以及产品选型有任何疑问，欢迎[联系我们]获取有关227系列压力传感器的最新信息。